
Definizzjoni tal-prodott
Il-mira ta 'sputtering hija waħda mill-materjali ewlenin għall-preparazzjoni ta' films irqaq permezz ta 'sputtering. Il-proċess ta 'sputtering huwa wieħed mit-teknoloġiji ewlenin għall-preparazzjoni ta' films irqaq elettroniċi. Juża jonji ġġenerati minn sors ta 'jone biex jifforma raġġ ta' joni b'veloċità għolja- wara aggregazzjoni aċċellerata f'vakwu għoli, li jibbumbardja l-wiċċ solidu. Il-joni u l-atomi fuq il-wiċċ solidu jiskambjaw l-enerġija kinetika, u jikkawżaw li l-atomi fuq il-wiċċ solidu jħallu s-solidu u jiddepożitaw fuq il-wiċċ tas-sottostrat. Is-solidu bbumbardjat huwa l-materja prima għad-depożitu ta 'films irqaq permezz ta' sputtering, li tissejjaħ sputtering target.
Strutturalment, il-mira hija magħmula prinċipalment minn "mira vojta" u "pjanċa ta 'wara". Fosthom, il-mira vojta hija l-materjal fil-mira bbumbardjat minn raġġ tal-jone b'veloċità għolja-, li jappartjeni għall-parti tal-qalba tal-mira sputtering, li tinvolvi metall ta 'purità għolja u regolament tal-orjentazzjoni tal-qamħ. Il-pjanċa ta 'wara għandha r-rwol ewlieni li tiffissa l-mira ta' sputtering, li tinvolvi proċess ta 'wweldjar. Minħabba s-saħħa baxxa ta 'metall ta' purità għolja-, il-mira ta 'sputtering jeħtieġ li tlesti l-proċess ta' sputtering f'magna ddedikata. In-naħa ta 'ġewwa tal-magna hija ambjent ta'-vultaġġ għoli, għoli-vakwu, għalhekk il-pjanċa ta 'wara jeħtieġ ukoll li jkollha konduttività elettrika u termali tajba.
Klassifikazzjoni tal-prodott
Forma: Jista 'jinqasam f'miri twal, miri kwadri, miri tondi u miri ta' tubi. Fosthom, l-aktar miri komuni huma miri kwadri u miri tondi, li huma miri solidi. Fil-preżent, sabiex tittejjeb ir-rata ta 'utilizzazzjoni tal-materjali fil-mira, miri vojta minn ġewwa ċilindriku sputtering li jistgħu jduru madwar komponenti kalamita bar fissi qed jiġu promossi fid-dar u barra. Peress li l-wiċċ fil-mira ta 'dan it-tip ta' mira jista 'jiġi nċiżi b'mod uniformi f'360 grad, ir-rata ta' utilizzazzjoni tista 'tiżdied mis-soltu 20% sa 30% għal 75% sa 80%.
Materjali: Il-miri huma kklassifikati f'miri tal-metall (tantalu pur, nijobju, vanadju, afnju, titanju, tungstenu, molibdenu, eċċ.), miri ta' liga (liga ta' tantalum-nijobju, nijobju-liga tat-tungstenu, liga ta' nijobju-żirkonju, liga ta' C13{niobju}, 10{6 niobju} 521 liga, nijobju-liga tat-titanju, nikil-liga tat-titanju, liga tan-nikil-kobalt, eċċ.), u miri komposti taċ-ċeramika (ossidi, siliċidi, karburi, sulfidi, eċċ.).

Klassifikazzjoni tal-industrija
1) Industrija fil-mira tal-pannell tal-wiri
Skont il-proċessi differenti, il-miri tal-industrija tal-FPD jistgħu wkoll jinqasmu bejn wieħed u ieħor f'miri ta 'sputtering u miri ta' evaporazzjoni. Fosthom, miri sputtering huma prinċipalment Cu, Al, Mo u IGZO. Materjali fil-mira użati għall-evaporazzjoni huma ġeneralment komposti minn żewġ metalli: Ag u Mg.
Klassifikazzjoni tal-Applikazzjoni: Pannelli tal-wiri mainstream huma maqsuma f'LCD u OLED. Id-displejs tal-kristalli likwidi tat-transistor tal-film irqiq{-(LCDs TFT-) joffru vantaġġi bħal irqiq, konsum baxx ta' enerġija, u prezz baxx. Bħalissa, TFT-LCDs jammontaw għal aktar minn 80% tas-sehem tas-suq tal-pannelli tal-wiri. Dawn il-pannelli tal-wiri huma magħmulin minn firxa kbira ta 'ċelluli tal-wiri tal-kristalli likwidi (pereżempju, skrin ta' riżoluzzjoni 4K fih aktar minn 8 miljun ċellula), li kull waħda minnhom hija kkontrollata u mmexxija minn transistor tal-film irqiq-separat (TFT).
L-industrija tal-pannelli OLED li qed tiżviluppa malajr rat ukoll żieda sinifikanti fid-domanda għal materjali fil-mira. L-istruttura OLED tipika tinvolvi d-depożitu ta' saff ta' materjal li jarmi dawl-għexieren ta' nanometri ħoxnin fuq ħġieġ tal-ossidu tal-landa tal-indju (ITO). L-elettrodu trasparenti ITO iservi bħala l-anodu tal-apparat, filwaqt li l-molibdenu jew liga jservi bħala l-katodu.
2) Industrija tal-Mira Fotovoltajka
Materjali fil-mira jintużaw primarjament f'batteriji ta' eterojunction u telluride tal-kadmju. Il-miri ITO huma materjali tal-qalba għad-depożitu tas-saff konduttiv trasparenti fil-produzzjoni taċ-ċelloli solari heterojunction. Tellurur tal-kadmju, tellurur taż-żingu tal-kadmju, u selenur tal-kadmju huma konsumabbli ewlenin fil-produzzjoni ta' ċelloli solari ta' film irqiq-.
Applikazzjonijiet: Il-miri użati fiċ-ċelloli fotovoltajċi jiffurmaw l-elettrodu ta 'wara. L-elettrodu ta 'wara ta' ċelloli solari tal-film irqiq-ffurmati minn miri sputtering għandu tliet skopijiet primarji: l-ewwel, iservi bħala l-elettrodu negattiv għal kull ċellula individwali; it-tieni, jipprovdi mogħdija konduttiva li tgħaqqad iċ-ċelloli f'serje; u t-tielet, iżid ir-riflettività tad-dawl taċ-ċellula solari. Bħalissa, il-miri ta 'sputtering għal ċelloli solari ta' film irqiq- huma primarjament pjanċi kwadri, b'rekwiżiti ta 'purità ġeneralment jaqbżu d-99.99% (4N). Miri ta' sputtering użati b'mod komuni għal ċelluli ta' film irqiq- jinkludu aluminju, ram, molibdenu u kromju, kif ukoll ITO u AZO (ossidu taż-żingu tal-aluminju). Iċ-ċelloli HIT primarjament jużaw miri ITO għall-films konduttivi trasparenti tagħhom. Il-miri tal-aluminju u tar-ram jintużaw primarjament għas-saff konduttiv, miri tal-molibdenu u tal-kromju għas-saff tal-barriera, u miri ITO u AZO għas-saff konduttiv trasparenti.
3) Industrija fil-mira tas-semikondutturi
L-industrija taċ-ċippa tas-semikondutturi hija waħda mill-oqsma ta 'applikazzjoni ewlenin tal-miri ta' sputtering tal-metall. Huwa wkoll il-qasam bl-ogħla rekwiżiti għall-kompożizzjoni, l-istruttura u l-prestazzjoni tal-materjali fil-mira. Ir-rekwiżit tal-purità fil-mira huwa ġeneralment 99.9995% (5N5) jew saħansitra 99.9999% (6N). Ir-rwol tal-miri ta 'sputtering tal-metall għal ċipep semikondutturi huwa li jagħmlu wajers tal-metall fuq iċ-ċippa biex jittrasmettu l-informazzjoni.
Nemmen li l-kuntatt magħna jġiblek sorpriżi mhux mistennija
E-posta elettronika
kd@tantalumysjs.com
+86 13379388917
Żid
Wenquan village Industrial Zone, Gaoxin Development Zone, Baoji City, Shaanxi Province, Ċina






