Apr 21, 2023 Ħalli messaġġ

Il-liġi ta ' l-iżvilupp ta ' l-industrija fil-mira magnetron sputtering

L-effett tal-magnetron se jonqos b'mod sinifikanti jekk il-materjal fil-mira jkun manjetiku minħabba li l-linji tal-kamp manjetiku huma protetti mill-materjal fil-mira u jsibuha diffiċli biex jgħaddu minnu biex jiffurmaw kamp manjetiku 'l fuq mill-wiċċ tal-materjal fil-mira. Bħala riżultat, meta materjali manjetiċi sputtering, il-kamp manjetiku tal-mira tal-magnetron għandu jkun aktar b'saħħtu minn naħa waħda, u l-materjal fil-mira għandu jsir irqaq min-naħa l-oħra, biex jippermetti li l-linji tal-kamp manjetiku jgħaddu minnha u jipproduċu effett magnetron 'il fuq mill-wiċċ tal-mira.

Skont is-sors tal-enerġija li qed jintuża, it-tagħmir tal-magnetron sputtering ġeneralment jista 'jiġi sseparat fi sputtering DC u sputtering ta' frekwenza tar-radju. Huwa pprovdut vultaġġ DC bejn is-sottostrat tal-anodu u l-mira tal-katodu waqt sputtering DC magnetron. Taħt l-influwenza tal-kamp elettriku, il-katjoni jibbumbardja l-mira, u r-rata ta 'sputtering tagħha ħafna drabi hija pjuttost għolja. Madankollu, sputtering DC spiss jintuża biss għal miri tal-metall minħabba li b'miri iżolaturi, l-hekk imsejjaħ "avvelenament fil-mira" jinġieb. mill-partiċelli pożittivi li jinbnew fuq il-wiċċ fil-mira, li jirriżulta f'rata ta 'sputtering li tonqos. Il-prinċipju ta' sputtering tal-magnetron huwa kif ġej: hekk kif l-elettroni jaċċelleraw u jtiru lejn is-sottostrat taħt l-influwenza ta 'kamp elettriku, jaħbtu ma' atomi ta 'argon, jonizzanti numri vasti ta 'atomi u elettroni tal-argon kif jagħmlu hekk.Taħt l-influwenza tal-kamp elettriku, il-jonji tal-argon iħaffu l-bumbardament tal-mira, sputtering ħafna atomi fil-mira. L-atomi newtrali fil-mira (jew molekuli) imbagħad jiġu depożitati fuq is-sottostrat biex jiffurmaw film. Hekk kif jaċċelleraw u jtiru lejn is-sottostrat, l-elettroni sekondarji huma kostretti fir-reġjun tal-plażma ħdejn il-wiċċ fil-mira mill-forza manjetika Loren tal-kamp manjetiku .

Din iż-żona għandha densità tal-plażma għolja ħafna. Il-kamp manjetiku huwa madwar l-elettroni sekondarji. Il-wiċċ tal-mira jdur f'ċirku. Il-mogħdija tal-moviment tal-elettron hija twila ħafna. Huwa kontinwament jaħbat mal-atomi tal-argon hekk kif jiċċaqlaq, li jikkawża li numru għoli ta 'jonji tal-argon jiġu jonizzati u jibbumbardjaw il-materjal fil-mira. L-enerġija tal-elettroni tonqos b'mod kostanti wara diversi laqgħat, u teħleshom mil-linji manjetiċi tar-restrizzjonijiet tal-forza. eventwalment iddepożitat fuq is-sottostrat wara li titneħħa mill-mira.

Ibgħat l-inkjesta

Id-dar

Tat-telefon

Indirizz elettroniku

Inkjesta