L-impatt tal-irbit fil-mira u l-kwalità tal-inforra fuq kisi ta 'żona kbira se jiġi diskuss f'dan id-dokument. Xi materjali b'ebusija baxxa, bħal metalli, ligi, u ossidi li huma suxxettibbli għall-qsim, se jintlaqtu matul il-proċess tal-kisi. Il-mira li ddur hija ħafna drabi marbuta mal-inforra tal-istainless steel waqt il-preparazzjoni, u l-mira hija tipikament marbuta mal-pjanċa tar-rinforz tar-ram meta jseħħ il-qsim. Indju tal-metall jew komposti oħra tal-metall huma l-ingredjent li jorbot l-aktar spiss impjegat.
Jista 'jgħin bi ftit kwistjonijiet relatati man-nuqqas ta' saħħa mekkanika tal-materjal fil-mira minbarra li jipprevjeni l-qsim involontarju tal-materjal fil-mira waqt it-trasport. Biex tiġi indirizzata l-kwistjoni ta 'utilizzazzjoni limitata ta' miri ta 'daqs kbir, dawn it-tekniki jinvolvu miri ta' twaqqigħ mal-pjanċa ta 'wara. Jista' jiggarantixxi kuntatt elettriku u tkessiħ xieraq tal-materjal fil-mira, kif ukoll iħarsu kontra qsim fil-mira u sputtering irregolari.
Konduttività termali irregolari se tirriżulta fi sputtering irregolari tal-materjal fil-mira (formazzjoni irregolari tal-film), kif se noduli tal-wiċċ u fenomeni ta 'skariku. Barra minn hekk, il-formazzjoni tal-film irregolari tirriżulta f'kulur irregolari tas-saff tal-film, li jaffettwa kif is-saff dielettriku jinbidel skont il-prodott finali. Żid in-numru ta 'ċaħda tal-kisi, ovvjament.Bħala riżultat, il-proprjetajiet vinkolanti tal-materjal fil-mira jaffettwaw ħafna kif jintuża. Minħabba l-interazzjoni bejn l-espansjoni termali u l-kontrazzjoni tal-materjal fil-mira u l-koeffiċjent ta' espansjoni termali tat-tubu tal-istainless steel, il-ġeometrika id-daqs ta 'xi miri rotanti tal-metall jew liga li għandhom konduttività termali tajba iżda ma jeħtiġux irbit, bħal miri ZnAl, ZnSn, u SiAl, jiżdied mat-temperatura.
Il-koeffiċjent ta 'regolarità tal-bidla u l-bidla huma differenti minn xulxin, għalhekk ċerti materjali ta' konnessjoni għandhom jintużaw għat-twaħħil. iseħħu. Dawn il-problemi se jkollhom impatt fuq il-kwalità tal-kisi u l-kapaċità li tipproduċi oġġetti.
B'mod ġenerali, il-materjal tal-mira taċ-ċeramika għandu dissipazzjoni fqira tas-sħana minħabba l-ġenerazzjoni tas-sħana għolja tal-materjal fil-mira matul il-proċess ta 'sputtering. Huwa sempliċi li tiġġenera s-sħana lokali matul il-proċess ta 'sputtering jekk it-twaħħil ikollu żona kbira u t-twaħħil huwa fqir. L-indju, materjal li jgħaqqad il-punt tat-tidwib baxx, jibni u jdub, li jikkawża li l-materjal fil-mira jinqasam jew saħansitra jinqala'.
Il-kisi fil-mira jiddependi ħafna fuq l-irbit tal-materjal fil-mira u l-kalibru tat-tubu tal-inforra. Dan jitlob il-professjonaliżmu tat-tim minbarra l-viġilanza.biex ikun possibbli d-depożitu ta’ film effettiv.
