L-iżgurar li ssir konnessjoni termali qawwija bejn il-mira u l-ħajt tat-tkessiħ tal-kanun sputtering hija l-aktar miżura ta 'sikurezza kruċjali li tieħu waqt l-installazzjoni tal-mira tal-isputtering. Il-mira tista' tinkiser jew titgħawweġ waqt l-installazzjoni jekk il-stave tat-tkessiħ jew il-backplane jkunu mgħawweġ ħafna. Dan se jkollu wkoll impatt sinifikanti fuq il-konduttività termali mill-mira ta 'wara sal-mira, li jista' jinduċi falliment tas-sħana matul il-proċess ta 'sputtering. Il-mira eventwalment se tinqasam jew titlef minħabba l-emissjoni.
Saff ta 'karta tal-grafita jista' jitqiegħed bejn il-ħajt tat-tkessiħ tal-katodu u l-mira sabiex tiġi żgurata konduttività termali adegwata. Jekk jogħġbok kun konxju li trid teżamina bir-reqqa u tikkonferma l-flatness tal-ħajt tat-tkessiħ għall-pistola sputtering u kun żgur li l-O- ċirku huwa dejjem f'posthom.
Meta tinstalla l-materjal fil-mira, huwa importanti li tiċċekkja u tnaddaf it-tank tal-ilma tat-tkessiħ tal-katodu biex tiżgura l-indafa tal-ilma li jkessaħ li qed jintuża u l-indafa tal-ħmieġ li jista 'jiġi ġġenerat waqt it-tħaddim tat-tagħmir se tiġi depożitata fil-katodu tank tal-ilma li jkessaħ. Dan jgħin biex tiġi żgurata ċirkolazzjoni bla xkiel tal-ilma li jkessaħ u d-daħla u l-ħruġ tal-ilma. ma jiġux ostakolati.
Meta tinstalla l-materjal fil-mira, huwa importanti li jiġi żgurat li ma jkun hemm l-ebda kuntatt bejn il-katodu u l-anodu u l-ebda kondutturi peress li xi katodi huma mibnija b'qasma ċkejkna mal-anodu; inkella, se jiġri ċirkwit qasir.
Għall-istruzzjonijiet meħtieġa dwar kif tinstalla sew il-mira, jekk jogħġbok ikkonsulta l-manwal tat-tħaddim ipprovdut mill-manifattur tat-tagħmir. Jekk jogħġbok issikka bolt wieħed bl-idejn, imbagħad it-tieni bolt fuq il-linja djagonali bl-idejn, irrepeti dan il-metodu sakemm jiddaħħlu l-boltijiet kollha, u mbagħad issikka bl-għodda biex tiżgura l-apparat fil-mira.






